
電漿是一種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質形態,廣泛存在於宇宙中,常被視為是物質的第四態,被稱為電漿態,或者“超氣態”,也稱“電漿體”。電漿體具有很高的電導率,與電磁場存在極強的耦合作用。它是部分電離的氣體,由電子、離子、自由基、中性粒子、及光子組成。
電漿體本身是含有物理和化學活潑粒子的電中性混合物,這些活潑自由基粒子能夠做化學功,而帶電原子和分子通過濺射能夠做物理功,通過物理轟擊和化學反應,電漿工藝能夠完成各種材料表面改性,包括表面活化、污染物去除、刻蝕等功效。
大氣常壓電漿設備|常壓可用於塑膠/玻璃表面清洗以及提高表面能增加後續工藝的附著強度。
真空低壓電漿設備 |PR低壓表面清潔/活化/增加表面粗造度,效率高縮短工作時間。
低溫電漿設備|表面清潔/活化/增加表面粗造度,能量低。