真空電漿清洗機是利用低壓氣體電漿體。利用一些非聚合性無機氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發，產生含有離子，通過電漿體的“活性”組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。
在真空腔體裡，給一組電極施以射頻電壓，電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，產生高能量的無序的電漿體，活性電漿對被清洗物進行表面物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒
子和氣態物質，經過抽真空排出，以達到清洗、活化、接枝等目的。
真空低壓電漿︱表面清潔/活化/增加表面粗造度，效率高縮短工作時間。適合用於金屬表面，避免金屬氧化產生金屬氧化層。